2025年12月26日，中科飞测正式发布首台电子束关键尺寸量测设备（CD-SEM）MAGNOLIAEBM-600。该产品的问世标志着国产高端量测装备再添关键利器，将有力推动产业链关键环节的技术自主与安全可控。
技术突破
此次发布的电子束关键尺寸量测设备主要面向1Xnm先进逻辑及存储芯片制造中的关键制程工艺，适用于光刻、刻蚀等核心环节的关键尺寸监控，在多项性能指标上已达到甚至超越国际同类水平，展现出显著的国产替代潜力。
产业价值
作为决定芯片良率与性能的核心装备，高端电子束设备长期依赖进口。为攻克这一关键技术，中科飞测集结精锐力量，组建了专业攻坚团队，面对1Xnm先进制程中的高量测精度、高一致性、光刻胶损伤控制与三维结构表征等挑战，历时数年完成了自主研发。该设备不仅精准满足客户对先进制程的高分辨、高速成像、机差控制、稳定性与量测精度等方面的严苛需求，更在提升产线效率、降低综合成本方面具有突出价值。
未来展望
此次发布的电子束关键尺寸量测设备，是公司产品矩阵中首款面向电子束细分市场的重磅设备，完善了中科飞测在前道量测领域的整体解决方案。该设备能够与中科飞测现有产品线协同，形成覆盖先进逻辑与存储芯片更为完整的良率管理解决方案，为客户提供一站式服务。
文章转自中科飞测公众号，如有侵权，请联系删除，更多信息请访问：https://www.skyverse.cn/
