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第三代半导体氮化镓/硅晶圆检测难？中图SuperView W光学3D轮廓仪，非接触亚纳米精度，替代AFM免裂片，全自动批量检，提效降本稳良率。

Stäubli与Mahr推出机器人集成计量方案，实现光学与接触式粗糙度检测自动化，提升表面检测效率与一致性。

丹青OPTACOM VC-10轮廓粗糙度仪，一站式解决箱体深腔检测难题，替代多设备分散作业，检测效率提升300%，数据精准可追溯。

基恩士VHX显微镜新增动态光学SEM功能，通过360°照明与DPC算法实现电镜级立体观测，支持金相分析、粗糙度测量等实验室显微分析需求。