光学与非接触式测量 氮化镓电子束检测技术即将落地,助力3D NAND制造提质增效2025年9月2日 光学与非接触式测量 Kioxia将评估GaN光电阴极电子束检验技术,实现3D NAND闪存高精度缺陷检测与量产级计量,为半导体制造带来新突破。