测量分析与检测软件 Phemet 在线半导体晶圆计量每秒捕获 1600 万个数据点2025年11月18日 测量分析与检测软件 Wooptix推出Phemet半导体计量系统,采用波前相位成像技术,单次成像即可实现亚纳米分辨率、千万级数据点的晶圆形貌全自动高速测量。