技术前沿 Helios MX1 释放面向晶圆厂的 3D 工艺控制潜能,优化半导体生产2025年11月11日 技术前沿 赛默飞世尔推出Helios MX1等离子聚焦离子束电镜,实现晶圆厂内半导体结构的自动化3D分析与计量,加速芯片制造缺陷检测与良率提升进程。