技术前沿 中科飞测发布首台电子束量测设备(CD-SEM),国产高端量测技术实现关键突破!2025年12月26日 技术前沿 中科飞测正式发布首台国产电子束关键尺寸量测设备MAGNOLIAEBM-600,面向1Xnm先进制程关键工艺,为高端量测装备国产化提供重要支撑。