Evident宣布推出其LEXT OLS5500混合3D光学轮廓仪，这是一个屡获殊荣的平台，为精密表面测量树立了新标准。该OLS5500将激光扫描显微镜 （LSM）、白光干涉测量 （WLI） 和焦点变化显微镜 （FVM） 结合在一起，能够帮助实验室从初步发现到最终决策，实现从精确表面细节、可追溯精度到智能自动化工作流程的无缝衔接。
OLS5500 专为研发、质量保证和质量控制而设计，是全球首款可保证激光扫描显微镜 (LSM) 和白光干涉测量 (WLI) 精度和重复性的三维光学轮廓仪¹，确保在不同表面上实现一致的高精度测量。符合 ISO 标准的测量噪声水平²也保证了对细微地形变化的高分辨率捕捉。对于较大区域，OLS5500 可保证³ LSM 和 WLI 拼接图像数据的精度。
OLS5500 凝聚了一个多世纪的光学创新成果，采用自主研发的光学系统，提供卓越的成像精度。LEXT 物镜在整个视场范围内保持清晰度和形状保真度，从而支持精确测量；高数值孔径白光成像 (NA WLI) 光学系统扩展了视场，与传统激光扫描显微镜 (LSM) 相比，测量速度提升高达 40 倍。该系统的智能自动化功能、直观的界面以及与 PRECiV 软件的集成，可帮助各级别用户高效地完成从观察到检测和测量的整个过程。
“我们的目标是打造一款能够弥合探索性研究和高通量表面计量之间鸿沟的三维光学轮廓仪，” Evident公司材料科学产品管理副总裁Cindy Zhang表示。“通过集成激光扫描、白光干涉测量和聚焦变化技术，屡获殊荣的LEXT OLS5500能够帮助实验室无缝地从精细结构分析过渡到可直接用于生产的测量。”
在预发布期间，OLS5500 3D 光学轮廓仪获得了日本设计振兴会颁发的 2025 年优秀设计奖，以表彰其在测量各种表面类型的精度。
评委评语：
“这款产品因其精妙的设计而备受赞誉，它是一款专为评估‘微加工’而设计的测量仪器，满足了半导体和电子元件市场日益增长的需求。尤其值得一提的是，它能够利用单个设备实现从纳米级到微米级的精确测量——随着纳米级评估变得越来越重要，这项功能至关重要。该产品有望为这些行业的新技术开发、质量提升以及可持续发展做出重大贡献。其设计巧妙地平衡了直观的操作性和高效性，充分考虑了各种使用环境和用户群体。该产品凝聚了一个多世纪以来经实践验证的专业知识和卓越技术，并被精心融入到其设计之中。”
脚注说明：
¹ 基于 Evident 截至 2025 年 10 月的内部研究。所保证的准确度和重复性仅适用于已按照制造商规格进行校准且无缺陷的设备。校准必须由 Evident 技术人员或 Evident 授权的专家执行。
² 用户将收到一份测量噪声保证证书。该证书上的数值为根据 Evident 指定的条件测得的代表性数值，可能与保证值有所不同。
³ 拼接图像的保证精度仅适用于 100 毫米电动平台。
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