Wooptix，半导体波前相位成像计量领域的创新者，宣布推出其新型Phemet计量系统，提供超高速且极其精确的晶圆形状和几何测量，分辨率达亚纳米级。
全自动的Phemet计量系统在单幅图像中测量整个硅晶圆，捕捉其形状和纳米形貌，以及弯曲、翘曲及其他定制参数。它是一种多功能工具，可以测量空白晶圆、图案晶圆或键合晶圆。Phemet具有低噪声和抗振性能，提升了测量的准确性。系统中的原始数据为晶圆厂和良率工程师提供了全面的可追溯性，以精确定位叠加错误及其他缺陷的起因，从而提升良率。
Wooptix首席执行官José Manuel Ramos表示：“Phemet满足了大批量制造中对改进工艺控制日益增长的需求，尤其是在行业持续创新，推出更高性能、更小更复杂、涉及纳米级特征尺寸和新型集成方法的器件时。”“Phemet系统能够以亚纳米分辨率和超高速在单幅图像中捕捉超过1600万个数据点，为行业计量树立了新的标杆。该系统特别适合高通量的在线混合键合测量、后侧电源传输逻辑架构以及下一代三维NAND和高带宽存储器。”
Wooptix 在 Phemet 中运用了其专有的波前相位成像 (WFPI) 技术，该技术通过专有算法捕捉晶圆的光分布并构建相位图。WFPI 能够快速获取亚纳米级分辨率的波前相位图，其中包含样品的详细信息，包括晶圆的完整形貌和翘曲情况。它提供 4700×4700 像素的超高分辨率。
TechInsights半导体市场分析总经理Risto Puhakka表示：“随着半导体制造向更小几何形状、三维集成和更严格工艺公差的推进，精准的晶圆形状和平整度测量变得越来越重要。行业始终在寻找新的、创新且高通量的计量方法，比如结合全场视图、高分辨率和高速测量的方法，这些方法能够降低过程控制成本、最小化叠加误差，并提升整体设备性能和良率。”
Ramos表示：“我们已经与一些顶级存储器和逻辑芯片客户合作测试了Phemet系统，结果非常出色。我们期待尽快将Phemet系统交付给多家重要客户，用于大规模生产。”
公司将于11月18日至21日在慕尼黑SEMICON Europa展位展示Phemet。
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