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Onto Innovation发布Atlas G6光学OCD计量系统，以更小光斑与更高精度支持GAA与HBM工艺控制，助力先进AI芯片制造提升良率与可靠性。

通过高分辨率成像技术、AI算法以及实时处理，视觉AI能够实现精确、可靠的缺陷检测，满足严苛的国际标准。