在AI引发的结构性失衡,芯片需求激增的当下,半导体产业正加速迈向微型化与集成化,制造工艺对精度的要求也达到了前所未有的高度。微米级的偏差,便可能影响一颗芯片的最终性能与良率。面对日趋复杂精密的生产需求,测量环节如何实现“快、准、稳”?三丰为您带来高效的非接触测量方案,助力提升效率、保障品质。

半导体行业:当凸点以“微米”计,测量如何快准稳?
在对倒装芯片的品质进行评价时,多以测量各点位相较于以主板中心为原点的X、Y方向偏差(即坐标差)为主。
主要课题:
① 测点密集,芯片表面凸点繁多,难以适应规模化生产
② 表面不平,频繁聚焦拖慢测量节奏,测量效率低下
③ 工件易变形,芯片薄且软,接触测量易导致数据失真
通过使用三丰影像测量仪QV HYPER系列,我们可以有效解决上述难题。
高精度非接触式测量:无损测量,不划伤表面
作为一款配备高分辨力、高精度标尺的影像测量仪,QV HYPER系列精度可达E UX/E UY,MPE=(0.8+2L/1000)μm,在不破坏工件表面的情况下实现高精度非接触式测量。
TAF功能:让对焦不再费时费力TAF激光自动追踪功能,可实现通过物镜的激光照射自动对焦。根据工件形状自动追踪焦点,可节省对焦作业,对于芯片这类非平整表面(且高度差变化不大)进行扫描时,无需停顿式对焦,从而大大提高了测量效率。
STREAM功能:无停顿测量,让批量测量成为可能通过XY本体驱动与频闪照明同步,在不关停工作台的状态下进行无停顿影像测量,大大缩短测量时间,提升测量效率,让批量测量成为可能。
与此同时,不仅是晶圆、PCB板等半导体部件的产能在扩张,以蚀刻为代表的半导体制造设备和装置的需求也在进一步增加。作为具有代表性的半导体制蚀刻装置部件,喷淋头的测量需求也受到了业界的高度关注。
半导体行业:密集的供给孔,测量如何“以快致胜”?
喷淋头表面分布着密集的气体供给孔。每个孔的尺寸会直接影响到刻蚀机上所产生的等离子体均匀性。其主要测量项目是表面密集分布的孔的直径、基于基准的坐标位置及平面度等。
主要课题:
① 孔数繁多,且偶尔存在分布不规则的情况
② 测量速度慢,效率低下,难以适应批量测量需求
我们发现,使用三丰影像测量仪QV Pro系列,搭载STERAM功能,我们同样能够轻松解决此类测量难题,以匹配您的批量测量需求。
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