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面向光通信锯齿形微电极的微细、密集特征检测需求，天准 VMU 高端影像仪结合 Vispec 软件，通过自动合并测量点实现同视野密集点位批量测量，提升检测效率并为工艺优化与量产质量管控提供数据依据。