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半导体喷淋盘微孔数量多、精度严、传统检测慢。天准VMG龙门影像仪采用圆弧飞拍技术,连续采集替代逐孔停顿,检测效率提升10.2倍,配合DXF自动定位,实现海量微孔高速批量精密测量。
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