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尼康NEXIV VMF‑K系列共焦量测方案，覆盖晶圆到先进封装：45×物镜可测＜2μm微特征，2D+高度同步，兼顾高反/透明材质；探针卡吞吐最高提升至1.5×，并支持600×600mm面板级封装整板测量。