浏览: 表面测量

相干扫描干涉测量的典型应用领域包括半导体晶圆、通过磨削或激光刻蚀制备的微加工表面、航空发动机零件、医疗植入物、增材制造零件、精密光学元件以及用于摩擦学研究的构件。在这些领域，高垂直分辨率结合快速、非接触的表面测量对科研和工业质量保证都是必不可少的。

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