
在对“百万分之一缺陷率(DPM)接近零”的不懈追求中,越来越多的制造企业正在借助工业视觉AI来实现检测流程的全自动化。不同于依赖固定规则的传统机器视觉系统,视觉AI具备学习与适应能力,能够灵活应对生产过程中的日常变化。通过高分辨率成像技术、AI算法以及实时处理,视觉AI能够实现精确、可靠的缺陷检测,满足严苛的国际标准。
半导体制造是积极部署视觉AI的重点行业之一。芯片制造涉及沉积、刻蚀、掺杂、光刻等多个工艺步骤。在每一道工序中,视觉AI都用于识别可能导致后续问题的瑕疵。它不仅能够检测晶圆表面的划痕、图案缺陷或颗粒,还能在纳米级别检查刻蚀特征、验证材料沉积的均匀性,以及确保金属化工艺的完美无缺。对于需要焊接或键合的芯片,视觉AI还能精准监控芯片贴装、引线键合和焊点的一致性。因此,视觉AI在提高良率、减少昂贵的浪费方面表现突出。
光学检测的创新
十多年来,研华(Advantech)持续引领视觉AI创新。其先进系统由AI边缘服务器提供强大算力,这些服务器采用Intel Xeon可扩展处理器,并结合多张NVIDIA GPU显卡,在不牺牲性能的前提下大幅加速检测流程。
2023年,图像采集卡制造商BitFlow正式加入研华。其CoaXPress(CXP)与Camera Link接口采集卡已被整合进研华视觉AI系统,使图像采集能力提升至全新水平。凭借BitFlow采集卡,研华视觉AI能够在多相机配置下无延迟、无丢帧地获取和分析超高分辨率图像。同时,BitFlow的多样化产品组合也让研华视觉AI系统具备模块化与可扩展性,可根据制造商的独特工艺进行定制化部署。
在一家半导体制造厂的光学检测机中,研华视觉AI解决方案的典型集成包括:
- AI AOI边缘推理系统:研华 HPC-6240 2U 20英寸短深度边缘加速服务器与 ASMB-622V3 第五/四代 Intel Xeon 可扩展专用主板,支持 8 个扩展槽。
- 图像采集卡:BitFlow Axion Camera Link 半尺寸 x4 PCI Express Gen 2.0 采集卡,连接多台高分辨率 Camera Link 相机。
- GPU显卡:NVIDIA RTX 6000 Ada 专业级显卡,负责处理视觉检测中复杂的AI计算。
- 相机:Axion-CL 采集卡可支持多达四台 Camera Link 相机,涵盖基础、中级、全幅及80位格式。相机既可同步运行,也可独立操作,最高运行频率可达85 MHz。
若将Camera Link接口组件替换为BitFlow Aon、Cyton或Claxon系列CoaXPress(CXP)采集卡,则数据传输速率可提升至每通道12.5 Gb/s(具体取决于型号)。BitFlow CXP采集卡能够无缝兼容研华 AIR-030 AI推理系统盒(基于 NVIDIA Jetson AGX Orin)、研华 MIC-770 紧凑型无风扇系统,或其他多种研华IPC方案。
工业视觉AI正在深刻变革现代制造业,为提升产品质量与运营效率提供了强有力的工具。图像采集卡成为视觉AI的关键枢纽,尤其在需要实时、低延迟且高可靠性数据传输的应用中。
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