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中国研究团队利用冷冻电子断层扫描技术首次揭示光刻缺陷成因，通过双重优化策略将12英寸晶圆缺陷减少99%，为先进半导体制造提供突破性解决方案。

3DPIXA compact 30µm 线阵扫描相机可同时获取玻璃表面的2D彩色图像与3D点云，实现高精度缺陷检测，适用于手机玻璃高速生产线，支持暗场照明与多软件集成。